المطلوب
شرح علاش EUV كينقص من الضو فكل انعكاس، ومن بعد تتبّع رتب الحيود: القناع → جوج ديال مصفوفات السطوح → الرقاقة. استعمل رسومات فالورق باش تشرح المسارات البصرية المتساوية، الطلاءات وتصميم القناع المعكوس. بيّن التصغير بـ4×، وNA حتى لـ0.993، وقمم FWHM محاكاة ديال 5.4 nm. وضّح بلي 50–60% هي نفاذية الرتبة المقبولة، ماشي كفاءة الماسح؛ والتصميم ثلاثي الأبعاد فيه 2,256 سطح. سالِي بحدود الأنماط الدورية، والمحاذاة، والتماسك، وبلي طباعة الرزيست مازال ما تجرّباتش. استعمل إنجليزية بسيطة، عرّف المصطلحات وتفادى المبالغة.