Ko‘rsatma
EUV har bir aks etishda nega yorug‘likni yo‘qotishini tushuntiring, so‘ng difraksiya tartiblarini kuzating: niqob → ikkita faset massivi → plastina. Teng optik yo‘llar, qoplamalar va invers niqob dizaynini qog‘ozdagi chizmalar yordamida tushuntiring. 4× qisqartirishni, 0.993 gacha bo‘lgan NA qiymatini va simulyatsiya qilingan 5.4 nm FWHM cho‘qqilarini ko‘rsating. 50–60% skaner samaradorligi emas, qabul qilinadigan tartib uzatish ko‘rsatkichi ekanini aniqlashtiring; 3D dizaynda 2,256 ta faset bor. Yakunda davriy naqshlar cheklovlari, tekislash, kogerentlik va sinovdan o‘tkazilmagan rezist bosib chiqarish masalalarini yoritib bering. Sodda ingliz tilidan foydalaning, atamalarni aniqlang va bo‘rttirishdan qoching.