Đề bài
Giải thích vì sao EUV mất ánh sáng ở mỗi lần phản xạ, sau đó lần theo các bậc nhiễu xạ: mặt nạ → hai mảng mặt → wafer. Dùng hình vẽ trên giấy để giải thích các đường quang bằng nhau, lớp phủ và thiết kế mặt nạ nghịch đảo. Trình bày mức thu nhỏ 4×, NA lên tới 0.993 và các đỉnh FWHM mô phỏng 5.4 nm. Làm rõ rằng 50–60% là độ truyền của bậc được chấp nhận, không phải hiệu suất của máy quét; thiết kế 3D có 2.256 mặt. Kết thúc bằng các giới hạn của mẫu tuần hoàn, căn chỉnh, độ kết hợp và việc in bằng chất cản quang chưa được kiểm chứng. Dùng tiếng Việt rõ ràng, định nghĩa các thuật ngữ và tránh cường điệu.