প্রম্পট
প্রতিটি প্রতিফলনে EUV কেন আলো হারায় তা ব্যাখ্যা করুন, তারপর বিচ্ছুরণ ক্রম অনুসরণ করুন: মাস্ক → দুটি ফেসেট অ্যারে → ওয়েফার। সমান অপটিক্যাল পথ, আবরণ এবং বিপরীত মাস্ক নকশা বোঝাতে কাগজের চিত্র ব্যবহার করুন। 4× হ্রাস, 0.993 পর্যন্ত NA এবং সিমুলেটেড 5.4 nm FWHM পিক দেখান। স্পষ্ট করুন যে 50–60% হলো গ্রহণযোগ্য ক্রম-সঞ্চালন, স্ক্যানারের দক্ষতা নয়; 3D নকশায় 2,256টি ফেসেট রয়েছে। পর্যায়ক্রমিক প্যাটার্নের সীমা, অ্যালাইনমেন্ট, সঙ্গতি এবং পরীক্ষাহীন রেজিস্ট প্রিন্টিং দিয়ে শেষ করুন। সহজ ইংরেজি ব্যবহার করুন, পরিভাষার সংজ্ঞা দিন এবং অতিরঞ্জন এড়িয়ে চলুন।