Mafunzo ya AI

Eleza kwa nini EUV hupoteza mwanga katika kila uakisi, kisha fuatilia oda za difraksheni: maski → safu mbili za nyuso → kaki. Tumia michoro ya karatasi kueleza njia za macho zenye urefu sawa, mipako na muundo wa maski kinyume. Onyesha upunguzaji wa 4×, NA hadi 0.993 na vilele vilivyoigwa vya FWHM ya

Eleza kwa nini EUV hupoteza mwanga katika kila uakisi, kisha fuatilia d

14 Septemba 2026Takriban dakika 2 za kusoma

Eleza upotevu wa mwanga wa EUV na ufuatiliaji wa oda za difraksheni kutoka maski hadi kwenye safu mbili za nyuso na kaki. Onyesha 4×, NA 0.993 na vilele vya FWHM 5.4 nm.

Kidokezo

Eleza kwa nini EUV hupoteza mwanga katika kila uakisi, kisha fuatilia oda za difraksheni: maski → safu mbili za nyuso → kaki. Tumia michoro ya karatasi kueleza njia za macho zenye urefu sawa, mipako na muundo wa maski kinyume. Onyesha upunguzaji wa 4×, NA hadi 0.993 na vilele vilivyoigwa vya FWHM ya 5.4 nm. Fafanua kuwa 50–60% ni upitishaji unaokubalika wa oda, si ufanisi wa skana; muundo wa 3D una nyuso 2,256. Malizia kwa mipaka ya miundo ya mara kwa mara, upangaji, mshikamano wa mawimbi na uchapishaji wa resista ambao haujajaribiwa. Tumia Kiingereza rahisi, fafanua istilahi na epuka kutia chumvi.